发明名称 Arsenic diffusion in silicon bodies
摘要
申请公布号 GB1146738(A) 申请公布日期 1969.03.26
申请号 GB19660028298 申请日期 1966.06.24
申请人 ASSOCIATED SEMICONDUCTOR MANUFACTURERS LIMITED 发明人 NEILL TREVOR ROSS;LEE DAVID BELGROVE
分类号 C23C8/00;C30B31/02;H01L21/00;H01L21/223 主分类号 C23C8/00
代理机构 代理人
主权项
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