发明名称 ETCHING METHOD OF ORGANIC INSULATING FILM
摘要
申请公布号 KR100749839(B1) 申请公布日期 2007.08.16
申请号 KR20020012838 申请日期 2002.03.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01J37/32;H01L21/311 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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