Bipolarer Trägerwafer und mobile, bipolare, elektrostatische Waferanordnung

摘要

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen bipolaren Trägerwafer und eine mobile, bipolare elektrostatische Waferanordnung. Derartige Trägerwafer und Waferanordnungen können insbesondere im Bereich der Handhabungstechnik von Halbleiterwafern eingesetzt werden. Der erfindungsgemäße Trägerwafer dient zur Halterung eines scheibenförmigen Halbleiterbauteils. Er weist eine erste Oberfläche (2a) als Vorderseite und eine der ersten Oberfläche (2a) gegenüber liegende zweite Oberfläche (2b) als Rückseite auf. Der Trägerwafer ist so ausgestaltet, dass er eine Trägerschicht (2), eine die Trägerschicht umgebende elektrisch isolierende Hüllschicht (3) und eine elektrisch leitfähige Schicht (4) aufweist, wobei letztere auf der elektrisch isolierenden Hüllschicht angeordnet ist und in mindestens zwei elektrisch voneinander getrennten Bereichen als Elektroden strukturiert ist. Auf der Rückseite (2b) des Trägerwafers sind elektrische Kontakte angeordnet, wobei diese elektrischen Kontakte mit den beiden auf der Vorderseite (2a) angeordneten Elektroden verbunden sind. Auf der elektrisch leitfähigen Schicht (4) ist weiterhin eine elektrisch isolierende Hüllschicht (8) angeordnet, die sowohl die Vorderseite (2a) als auch die Kante des Trägerwafers zwischen der Vorderseite (2a) und der Rückseite (2b) bedeckt.