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发明名称
摘要
申请公布号 NL6715753(A) 申请公布日期 1969.05.23
申请号 NL19670015753 申请日期 1967.11.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/316;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/00;H01L29/06;H01L29/51;H01L29/78;(IPC1-7):H01L5/06;H01L1/10;H01L11/06;H01L11/14 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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