发明名称 薄膜晶体管面板及其制造方法
摘要 一种薄膜晶体管(TFT)阵列面板,包括:基板;第一信号线,形成在该基板上;栅绝缘层,形成在该第一信号线上,并具有露出该第一信号线一部分的第一接触孔;第一半导体,形成在该栅绝缘层上;第二信号线,形成在该第一半导体和该栅绝缘层上;和漏极电极,形成在该第一半导体上,并与该第二信号线隔开。该TFT阵列面板还包括:导体,形成在该栅绝缘层上,并通过该第一接触孔连接到第一信号线;钝化层,形成在该第二信号线、该漏极电极和该导体上,并具有露出该漏极电极的第二接触孔;和像素电极,形成在该钝化层上,并通过该第二接触孔连接到该漏极电极。
申请公布号 CN101017835A 申请公布日期 2007.08.15
申请号 CN200710092304.5 申请日期 2007.02.07
申请人 三星电子株式会社 发明人 柳春基;金奉柱
分类号 H01L27/12(2006.01);H01L23/522(2006.01);H01L21/84(2006.01);H01L21/768(2006.01);G02F1/1362(2006.01) 主分类号 H01L27/12(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波
主权项 1、一种薄膜晶体管(TFT)阵列面板,包括:基板;第一信号线,形成在该基板上:栅绝缘层,形成在该第一信号线上,该栅绝缘层具有露出该第一信号线一部分的第一接触孔;第一半导体,形成在该栅绝缘层上;第二信号线,形成在该第一半导体和该栅绝缘层上;漏极电极,形成在该第一半导体上,并与该第二信号线隔开;导体,形成在该栅绝缘层上,并通过该第一接触孔连接到该第一信号线;钝化层,形成在该第二信号线、该漏极电极和该导体上,该钝化层具有露出该漏极电极的第二接触孔;和像素电极,形成在该钝化层上,并通过该第二接触孔连接到该漏极电极。
地址 韩国京畿道