发明名称 |
薄膜晶体管面板及其制造方法 |
摘要 |
一种薄膜晶体管(TFT)阵列面板,包括:基板;第一信号线,形成在该基板上;栅绝缘层,形成在该第一信号线上,并具有露出该第一信号线一部分的第一接触孔;第一半导体,形成在该栅绝缘层上;第二信号线,形成在该第一半导体和该栅绝缘层上;和漏极电极,形成在该第一半导体上,并与该第二信号线隔开。该TFT阵列面板还包括:导体,形成在该栅绝缘层上,并通过该第一接触孔连接到第一信号线;钝化层,形成在该第二信号线、该漏极电极和该导体上,并具有露出该漏极电极的第二接触孔;和像素电极,形成在该钝化层上,并通过该第二接触孔连接到该漏极电极。 |
申请公布号 |
CN101017835A |
申请公布日期 |
2007.08.15 |
申请号 |
CN200710092304.5 |
申请日期 |
2007.02.07 |
申请人 |
三星电子株式会社 |
发明人 |
柳春基;金奉柱 |
分类号 |
H01L27/12(2006.01);H01L23/522(2006.01);H01L21/84(2006.01);H01L21/768(2006.01);G02F1/1362(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/12(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波 |
主权项 |
1、一种薄膜晶体管(TFT)阵列面板,包括:基板;第一信号线,形成在该基板上:栅绝缘层,形成在该第一信号线上,该栅绝缘层具有露出该第一信号线一部分的第一接触孔;第一半导体,形成在该栅绝缘层上;第二信号线,形成在该第一半导体和该栅绝缘层上;漏极电极,形成在该第一半导体上,并与该第二信号线隔开;导体,形成在该栅绝缘层上,并通过该第一接触孔连接到该第一信号线;钝化层,形成在该第二信号线、该漏极电极和该导体上,该钝化层具有露出该漏极电极的第二接触孔;和像素电极,形成在该钝化层上,并通过该第二接触孔连接到该漏极电极。 |
地址 |
韩国京畿道 |