发明名称 |
DÜNNSCHICHTANORDNUNG UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER SOLCHEN DÜNNSCHICHTANORDNUNG |
摘要 |
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申请公布号 |
AT500259(B1) |
申请公布日期 |
2007.08.15 |
申请号 |
AT20040000894 |
申请日期 |
2004.05.24 |
申请人 |
AT & S AUSTRIA TECHNOLOGIE & SYSTEMTECHNIK AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
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分类号 |
H05K3/40;H01L27/15;H05B33/12;H05K1/00;H05K1/16;H05K3/04;H05K3/07;H05K3/24;H05K3/38;H05K3/42 |
主分类号 |
H05K3/40 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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