金属气体混合离子注入机

摘要

本发明公开了一种金属气体混合离子注入机，旨在提供一种效果好的、使用范围大的金属气体混合离子注入机。该机包括金属离子源(1)、离子源供电系统、气体离子源(31)、供气系统、气体离子源供电系统、真空室(2)、工件靶台(3)、抽真空系统(4)、冷却系统和控制屏。本发明能将金属离子和气体离子混合注入到工件表面，从而使离子注入技术的使用范围得到大大扩展。

主权项

1、一种金属气体混合离子注入机，包括金属离子源(1)、金属离子源供电系统、真空室(2)、工件靶台(3)、抽真空系统(4)、冷却系统和控制屏，所述金属离子源(1)设置于所述真空室(2)的上部并与所述真空室(2)相连通，所述工件靶台(3)设置于所述真空室(2)中，所述冷却系统与所述金属离子源(1)相连接，所述控制屏分别与所述金属离子源供电系统、所述真空室(2)、所述抽真空系统(4)、所述冷却系统相连接，其特征在于：它还包括气体离子源(31)、供气系统、气体离子源供电系统，所述气体离子源(31)设置于所述真空室(2)的上部并与所述真空室(2)相连通，所述气体离子源(31)、所述供气系统、气体离子源供电系统分别与所述控制屏相连接，所述金属离子源(1)与所述气体离子源(31)相互成一定角度。