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发明名称
Surface inspection method and apparatus
摘要
申请公布号
EP1408326(B1)
申请公布日期
2007.08.15
申请号
EP20030022460
申请日期
2003.10.08
申请人
KABUSHIKI KAISHA TOPCON
发明人
ISOZAKI, HISASHI;YAMAZAKI, MICHIHIRO;YOSHIKAWA, HIROSHI;TAKASE, TAKEHIRO;SHIDA, YUTAKA;IWA, YOICHIRO
分类号
G01N21/88;G01B11/30;G01N21/95;G01N21/956;H01L21/66
主分类号
G01N21/88
代理机构
代理人
主权项
地址
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