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发明名称
摘要
申请公布号	JP3957844(B2)	申请公布日期	2007.08.15
申请号	JP19970336889	申请日期	1997.12.08
申请人		发明人
分类号	H01J23/10;H05H1/46;C23C14/35;C23C16/50;C23F4/00;H01F7/02;H01J37/32;H05H1/24	主分类号	H01J23/10
代理机构		代理人
主权项
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