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发明名称 BILDUNG EINER SILICIUM-GERMANIUM-AUF-ISOLATOR- STRUKTUR DURCH OXIDATION EINER VERGRABENEN PORÖSEN SILICIUMSCHICHT
摘要
申请公布号 AT368939(T) 申请公布日期 2007.08.15
申请号 AT20040809708T 申请日期 2004.09.10
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BEDELL, STEPHEN;CHOE, KWANG SU;FOGEL, KEITH;SADANA, DEVENDRA
分类号 H01L21/762;C22F1/10;H01L21/20 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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