发明名称
摘要
申请公布号 JP3958857(B2) 申请公布日期 2007.08.15
申请号 JP19980063724 申请日期 1998.03.13
申请人 发明人
分类号 H01L35/34;B22F3/24;C22C1/04;H01L35/16;H01L35/32 主分类号 H01L35/34
代理机构 代理人
主权项
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