| 发明名称 |
一种固晶机粘晶控制系统 |
| 摘要 |
本实用新型公开了一种固晶机粘晶控制系统，它包括摆臂(1)、粘晶头(2)、气管(3)和控制器，粘晶头(2)固定在由电动控制系统控制的摆臂(1)上，粘晶头(2)上还连接有由气动控制系统控制的气管(3)，固定片(4)设置在粘晶头(2)下部，粘晶头(2)上连接有传感器第一部分，固定片(4)上固定有传感器第二部分，传感器与控制器相连，控制器同时与气动控制系统和电动控制系统相连；其中所述的传感器是光纤传感器。该粘晶控制装置不仅可以避免光电传感器的发射端被灰尘覆盖所造成的光强减弱，而且也提高了传感器的响应速度和响应频率，因此明显地降低了芯片的漏检率。 |
| 申请公布号 |
CN2935469Y |
申请公布日期 |
2007.08.15 |
| 申请号 |
CN200620017994.9 |
申请日期 |
2006.08.28 |
| 申请人 |
杨少辰;韩金龙;罗会才 |
发明人 |
刘义红;刘兴根 |
| 分类号 |
H01L21/50(2006.01);H01L21/58(2006.01);H01L21/66(2006.01);H01L33/00(2006.01);G05B15/02(2006.01);G05B19/02(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/50(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1、一种固晶机粘晶控制系统，包括摆臂(1)、粘晶头(2)、气管(3)和控制器，粘晶头(2)固定在由电动控制系统控制的摆臂(1)上，粘晶头(2)上还连接有由气动控制系统控制的气管(3)，固定片(4)设置在粘晶头(2)下部，粘晶头(2)上连接有传感器第一部分，固定片(4)上固定有传感器第二部分，传感器与控制器相连，控制器同时与气动控制系统和电动控制系统相连，其特征在于：所述的传感器是光纤传感器。 |
| 地址 |
518103广东省深圳市宝安区福永镇富源一路华发工业园第一栋 |
