| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM AUFBRINGEN VON SILIZIUM MIT HOHER RATE BEI NIEDRIGEN DRUCK |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT368756(T) |
申请公布日期 |
2007.08.15 |
| 申请号 |
AT19990949661T |
申请日期 |
1999.09.15 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
COOK, ROBERT;BRORS, DANIEL |
| 分类号 |
C23C16/24;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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