发明名称 |
用于空化阈值特征表示和控制的方法和设备 |
摘要 |
一种用于表示空化的特征的设备和方法,所述空化发生在暴露到声能的流体中。所述设备包括:容器(14),用于容纳流体;声能产生装置(118),用于产生声能,声能产生装置(118)被定位成当流体容纳在容器(14)中时将声能传递到流体中;和空化检测装置(22),用于检测容纳在容器(14)中的流体中的空化。在一个优选实施例中,空化检测装置(22)包括光检测装置,例如光电倍增管,其检测来自流体的声致发光。所述方法包括下列步骤:使一定量的工艺流体暴露到特定能级的声能;测量在一定时间段上来自流体的光子输出;并且当光子输出偏离适合的水平时,启动补偿步骤以使光子输出返回到大约适合的水平。 |
申请公布号 |
CN101019245A |
申请公布日期 |
2007.08.15 |
申请号 |
CN200580031073.6 |
申请日期 |
2005.09.16 |
申请人 |
产品系统公司 |
发明人 |
马克·J.·贝克;雷蒙德·Y.·利拉德;埃里克·G.·利布舍尔;弗兰克·M.·海丁雅克 |
分类号 |
H01L41/08(2006.01) |
主分类号 |
H01L41/08(2006.01) |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 |
代理人 |
王琼 |
主权项 |
1.一种用于表示流体中的空化的特征的设备,包括:容器,用于容纳流体;声能产生装置,用于产生声能,声能产生装置被定位成当流体容纳在容器中时将声能传递到流体中;和空化检测装置,当声能在流体中引起空化时,所述空化检测装置用于检测容纳在容器中的流体中的空化。 |
地址 |
美国加利福尼亚 |