发明名称 |
具有电导的转移部件及其制造方法 |
摘要 |
用于转移半导体硅晶片和液晶显示装置玻璃基片等精密设备材料的导电转移部件以及制造这种转移部件的方法。该转移部件具有碳纤维增强复合材料主体以及与主体至少一部分碳纤维连接的导电的聚合物部件。导电的转移部件能消除被转移部件转移的元件的静电。 |
申请公布号 |
CN1332419C |
申请公布日期 |
2007.08.15 |
申请号 |
CN02824029.4 |
申请日期 |
2002.12.02 |
申请人 |
纳幕尔杜邦公司;新日本石油株式会社;石原化学株式会社 |
发明人 |
酒井修司;C·L·米勒;内田大介;小林孝至;青柳健一;山本伸二 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
卢新华;郭广迅 |
主权项 |
1.转移至少一种制品的转移部件,其中包括:具有碳纤维增强复合材料的主体;和配置在所述主体上的导电的聚合物部件,所述导电的聚合物部件具有在至少一种制品转移过程中与至少一种制品接触的部分,所述导电的聚合物部件,在电学上与所述主体碳纤维增强复合材料的至少一部分碳纤维连接。 |
地址 |
美国特拉华州威尔明顿 |