| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR BEHANDLUNG SUBSTRATEN DURCH ERZEUGUNG UND KONTROLE EINES KRYOGENEN AEROSOLS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT368298(T) |
申请公布日期 |
2007.08.15 |
| 申请号 |
AT19980926579T |
申请日期 |
1998.06.11 |
| 申请人 |
FSI INTERNATIONAL, INC. |
发明人 |
PATRIN, JOHN;HEITZINGER, JOHN |
| 分类号 |
B08B5/02;H01L21/306;B08B3/08;F25D3/10;F25J1/00;H01L21/304 |
主分类号 |
B08B5/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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