| 发明名称 | 用于平板显示器的化学气相沉积设备 | ||
| 摘要 | 本发明是关于一种用于平板显示器(flat display)的化学气相沉积设备(chemical vapor deposition)包含：腔室，在所述腔室中执行用于所述平面显示器的沉积工艺；基座，其安装在腔室中，能够提升且具有上表面，在所述上表面上加载所述平板显示器；以及至少一个冷却块，其提供在腔室的底部表面上，以在基座下降时接触基座，且冷却在沉积工艺期间被加热的基座。由于强行冷却基座以在相对较短时间内将基座温度降低到恰当水平，因而可减少设备维护和修理时间的等待时间(stand by time)。因此，改进设备的操作速率和其生产率，且防止工艺损失的产生。 | ||
| 申请公布号 | CN101016622A | 申请公布日期 | 2007.08.15 |
| 申请号 | CN200710003472.2 | 申请日期 | 2007.02.05 |
| 申请人 | SFA工程股份有限公司 | 发明人 | 金南珍;金俊洙 |
| 分类号 | C23C16/00(2006.01);C23C16/54(2006.01);C03C17/00(2006.01) | 主分类号 | C23C16/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 寿宁;张华辉 |
| 主权项 | 1、一种用于平板显示器的化学气相沉积设备，其特征在于：所述设备包括：腔室，在所述腔室中执行用于所述平面显示器的沉积工艺；基座，其安装在所述腔室中，能够提升且具有上表面，在所述上表面上加载所述平板显示器；以及至少一个冷却块，其提供在所述腔室的底部表面上，以在所述基座下降时接触所述基座，且冷却在所述沉积工艺期间被加热的所述基座。 | ||
| 地址 | 韩国忠清南道牙山市屯浦面新项里166番地 | ||