| 发明名称 |
Stage apparatus and vision measuring apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1605228(B1) |
申请公布日期 |
2007.08.15 |
| 申请号 |
EP20050012573 |
申请日期 |
2005.06.10 |
| 申请人 |
MITUTOYO CORPORATION |
发明人 |
KAMIYAMA, SHUICHI;NISHITSUJI, YUTAKA |
| 分类号 |
G01B11/03;G01B11/24;G01B11/00;G01B21/00 |
主分类号 |
G01B11/03 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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