晶片传送机器人及包括该机器人的半导体器件制造设备

摘要

一种用于多腔室半导体器件制造设备中的晶片传送机器人，所述晶片传送机器人包括：基座；至少一个可延伸和可缩进的臂，在其一侧由所述基座可转动地支撑；刀片，结合到每个所述臂的另一侧。所述刀片包括板，所述板具有用于支撑晶片的上表面；晶片导向件，设置在所述板的顶部。所述晶片导向件将所述板上的晶片限定在使得所述晶片的平坦区域或者凹口面向预定方向的方位。因此，可防止晶片滑动到刀片上的异常位置，并可保持晶片的预先排列。因此，晶片传送机器人有助于维持产品良率。

主权项

1、一种晶片传送机器人，包括：基座；至少一个臂，在其一侧由所述基座可转动地支撑，所述臂相对于所述基座可延伸和可缩进；刀片，结合到每个所述臂的另一侧，所述刀片包括板，所述板具有用于支撑晶片的上表面；晶片导向件，设置在所述板的顶部，所述晶片导向件具有突出于所述板的上表面之上的至少一个导向表面，所述至少一个导向表面与晶片的平坦区域或者凹口部分以及弧形边缘均互补，从而所述晶片导向件将支撑在所述板上的晶片限定在使得所述晶片的平坦区域或者凹口面向预定方向的方位。