发明名称 | 石墨加热炉 | ||
摘要 | 本发明涉及一种结构简单且即使在整个炉体内填充氮气也能够抑制氰气的产生的石墨加热炉。石墨加热炉(100)具备:向炉体(6)内供给氮气的氮气供给部(8)、将炉体(6)内的炉体内气体向炉体(6)外排出的排气部(9)、作为将炉体内气体向炉体(6)外排放的排放部的间隙(6a)、(6b)。被供给到炉体(6)内的氮气的露点温度是-80℃以下,炉体(6)内的压力相对于炉体(6)外的大气压是140Pa以上。 | ||
申请公布号 | CN101016192A | 申请公布日期 | 2007.08.15 |
申请号 | CN200710006763.7 | 申请日期 | 2007.02.06 |
申请人 | 古河电气工业株式会社 | 发明人 | 高桥正 |
分类号 | C03B37/029(2006.01) | 主分类号 | C03B37/029(2006.01) |
代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 陶凤波 |
主权项 | 1、一种石墨加热炉,其是炉体内的至少一部分使用石墨形成的石墨加热炉,其特征在于,具有:向所述炉体内供给氮气的气体供给部;以及将所述炉体内的炉体内气体向所述炉体外排出的排气部,其中,被供给到所述炉体内的氮气的露点温度是-80℃以下,所述炉体内的压力相对于所述炉体外的大气压是140Pa以上。 | ||
地址 | 日本东京都 |