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发明名称
APPARATUS AND METHOD OF DETECTING PROBE TIP CONTACT WITH A SURFACE
摘要
申请公布号
EP1817557(A2)
申请公布日期
2007.08.15
申请号
EP20050851362
申请日期
2005.11.03
申请人
OMNIPROBE, INC.
发明人
MOORE, THOMAS, M.;ZAYKOVA-FELDMAN, LYUDMILA
分类号
H01J37/26
主分类号
H01J37/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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