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发明名称 Piezoelectric positioning element
摘要
申请公布号 EP1267425(B1) 申请公布日期 2007.08.15
申请号 EP20020013415 申请日期 2002.06.12
申请人 PHYSIK INSTRUMENTE (PI) GMBH & CO. KG 发明人 WISCHNEWSKIY, WLADIMIR, DR.
分类号 H02N2/00;H02N2/02;H01L41/09;H01L41/04 主分类号 H02N2/00
代理机构 代理人
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