显影装置以及显影方法

摘要

本发明提供一种显影装置以及显影方法。将喷出显影液、漂洗液以及氮气的一体喷嘴配置在俯视状态下基板的旋转中心附近。控制部通过对电磁开闭阀进行操作，而在显影过程中使基板旋转的同时持续供给显影液，并在漂洗过程中结束显影液的供给之后即刻就开始漂洗液的供给，从而缩短显影过程的期间。另外，漂洗过程刚结束之后开始供给氮气，而移到干燥过程。由此，即使基板的接触角较大，也能抑制漂洗液的液滴的生成，来防止显影缺陷。

主权项

1.一种显影装置，对基板进行显影处理，其特征在于，包括：旋转保持装置，其保持基板并使基板能够旋转；显影液喷嘴，其向基板供给显影液；漂洗液喷嘴，其向基板供给漂洗液；惰性气体喷嘴，其向基板供给惰性气体；控制装置，其对基板的旋转和显影液、漂洗液以及惰性气体的供给进行控制，所述漂洗液喷嘴和所述惰性气体喷嘴在俯视状态下分别并列设置在基板的旋转中心附近的位置，所述控制装置，使基板进行旋转，并且在向旋转中心附近供给漂洗液之后、且在基板上存在有漂洗液的液膜的期间，使得向旋转中心附近供给惰性气体的供给动作开始。