介电薄膜BaTiO<SUB>3</SUB>掺杂金属离子的制备方法及装置

摘要

本发明属于电子工程技术领域，是一种介电薄膜BaTiO₃掺杂金属离子的制备方法及装置。方法是用碱性介质Ba(OH)₂电解质溶液，同时添加含量为5～15g/L含有WO₄^2－，Mo₇O₂₄^2－、SnO₃^2－酸根离子的盐，进行微等离子体氧化处理，在阳极表面形成(Ba，Ca)TiO₃、(Ba，W)TiO₃、(Ba，Sn)TiO₃膜层。设备由脉冲电源、负极、正极、电解液、阳极电极、阴极电极、氧化处理槽组成，本发明的有益效果是，该方法及装置简单，直接在钛金属表面生长一层膜较厚的薄膜与基体的结合力良好，实现技术离子的掺杂，形成(Ba，X)TiO₃薄膜，改变BaTiO₃薄膜的介电性能，有良好的应用前景。

主权项

1、介电薄膜BaTiO3掺杂金属离子的制备方法，其特征在于，该方法的步骤是：(一)、配制电解质溶液：电解质溶液配制方法：在微等离子体氧化处理槽(9)内配制电解质溶液(4)，电解质溶液(4)采用碱性介质，为Ba(OH)2，调节pH值在7.5～9.0之间；(二)、微等离子体氧化处理：搅拌器(7)以搅拌速度120-150转/分搅拌电解质溶液(4)，反应5-10分钟，向阳极(5)上施加电压500～600V直流脉冲，阳极(5)表面形成微等离子体放电，放电时间为10～20min，阳极(5)表面形成氧化膜层，阳极(5)材料选用Ti。