| 发明名称 | 过一硫酸氢钾溶液 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种溶液，其包含含有高浓度KHSO<SUB>5</SUB>和SO<SUB>5</SUB>/SO<SUB>4</SUB>的重量比大于1.0∶1的过一硫酸氢钾，及其在微蚀刻金属基质中的用途。 | ||
| 申请公布号 | CN1331736C | 申请公布日期 | 2007.08.15 |
| 申请号 | CN200480008824.8 | 申请日期 | 2004.03.31 |
| 申请人 | 纳幕尔杜邦公司 | 发明人 | T·P·塔法诺;M·B·科克西 |
| 分类号 | C01B15/08(2006.01);H05K3/38(2006.01);H01L21/3213(2006.01) | 主分类号 | C01B15/08(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 范赤;段晓玲 |
| 主权项 | 1.一种组合物，包含SO5与SO4的最小重量比大于1.0∶1的过一硫酸氢钾溶液。 | ||
| 地址 | 美国特拉华州 | ||