REALISATION DE CAVITES POUVANT ETRE REMPLIES PAR UN MATERIAU FLUIDIQUE DANS UN COMPOSE MICROTECHNOLOGIQUE OPTIQUE

摘要

Un nouveau procédé permet de réaliser des cavités destinées à contenir un liquide de propriétés optiques déterminées au sein d'un film à usage optique. Les parois (38) des cavités (40) sont réalisées par gravure plasma d'une couche de matériau transparent ou absorbant la lumière (30, 34) rapportée sur un substrat microtechnologique, les parois (38) présentant un profil structuré afin de limiter les phénomènes parasites de diffusion et diffraction de la lumière.