发明名称 ELABORATION D'UN OXYDE TUNNEL POUR LA FABRICATION D'UNE MEMOIRE NON-VOLATILE EN TECHNOLOGIE FLOTOX A BASSE TEMPERATURE
摘要
申请公布号 FR2881272(B1) 申请公布日期 2007.08.10
申请号 FR20050050232 申请日期 2005.01.27
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE SCIENTIFIQUE TECHNIQUE ET INDUSTRIEL 发明人 FERRANDIS PHILIPPE;MOUREY BRUNO;ANDRE BERNARD
分类号 H01L21/285;H01L21/336;H01L21/8247;H01L29/788 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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