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发明名称 PROCEDE DE GRAVURE CHIMIQUE UNIFORME
摘要
申请公布号 FR2886053(B1) 申请公布日期 2007.08.10
申请号 FR20050005015 申请日期 2005.05.19
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES SOCIETE ANONYME 发明人 DELATTRE CECILE
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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