Vorrichtung und Verfahren zum optischen Prüfen einer Oberfläche

摘要

Die Erfindung betrifft eine aus wenigen Komponenten bestehende, kompakte und kostengünstig zu fertigende Vorrichtung zum optischen Prüfen einer Oberfläche sowie ein Verfahren hierzu unter Verwendung der Vorrichtung. Der zu untersuchende Bereich der Oberfläche wird unter Verwendung eines telezentrischen Strahlengangs durch einen halbdurchlässigen Spiegel und eine Feldlinse beleuchtet und das von der Oberfläche reflektierte oder gestreute Licht wird von der Feldlinse über den halbdurchlässigen Spiegel wenigstens teilweise in die Eintrittspupille der Optik einer elektronischen Camera abgebildet. Alle optischen und elektronischen Komponenten sowie ein licht- und staubdichtes Gehäuse werden selbstjustierend von einem speziell ausgebildeten Halteblock getragen. Das Verfahren zur Prüfung einer Oberfläche sieht die automatische Aufnahme einer Reihe von Bildern der Oberfläche unter verschiedenen Beleuchtungssituationen vor. Die Bilder werden zu einem Gesamtbild des zu untersuchenden Bereichs zusammengefaßt und mittels bekannter Bildverarbeitungsverfahren ausgewertet.