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发明名称 Ionenimplantiervorrichtung
摘要
申请公布号 DE10223533(B4) 申请公布日期 2007.08.09
申请号 DE20021023533 申请日期 2002.05.27
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD. 发明人 KIM, WON-JU
分类号 H01J37/317;H01J37/304;H01L21/265 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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