Gerät und Verfahren zur Messung der Tiefe einer vertieften Grenzschicht,申请号DE19986037033T-传众专利搜索

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发明名称	Gerät und Verfahren zur Messung der Tiefe einer vertieften Grenzschicht
摘要
申请公布号	DE69837033(T2)	申请公布日期	2007.08.09
申请号	DE19986037033T	申请日期	1998.12.15
申请人	SIEMENS AG;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP.	发明人	MULLER, PAUL K.;JAIPRAKASH, VENKATACHALAM C.
分类号	G01B11/02;H01L21/00;G01B11/06;G01N21/55;G01R31/26;G01R31/265;H01L21/334;H01L21/66	主分类号	G01B11/02
代理机构		代理人
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