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Es wird ein Verfahren zum Messen einer dreidimensionalen Form, das eine dreidimensionale Form von Zielobjekten auf einer Platine durch das Durchsuchen einer Datenbank nach Informationen über die reine Platine, wenn ein Messobjekt nicht auf einen normalen Inspektionsmodus festgelegt wurde, oder durch das Ausführen einer Reinplatinenlehre, wenn die Platine von einem Lieferanten geliefert wird, der die Information über die reine Platine nicht hat, bereitgestellt. Das Verfahren des Messens einer dreidimensionalen Form umfasst die Operation S100 des Messens der Helligkeit einer ersten Beleuchtungsquelle 41a, die Operation S200 des Messens eines Phase-zu-Höhe-Umwandlungsfaktors, die Operation S300 der Bestimmung, ob die Messung in einem normalen Inspektionsmodus ausgeführt wird, die Operation S400 des Messens einer dreidimensionalen Form einer Leiterplatte 62 gemäß dem normalen Inspektionsmodus, die Operation S500 der Bestimmung, ob die Information über die reine Platine über die Platine 62 eingeschlossen ist, die Operation S600 des Ausführens der Reinplatinenlehre, wenn die Information über die reine Platine nicht eingeschlossen ist, die Operation S700 des Messens der dreidimensionalen Form von Zielobjekten auf der Platine 62, wenn die Information über die reine Platine eingeschlossen oder die Reinplatinenlehrinformation erzeugt ist, und die Operation S800 des Analysierens unter Verwendung der Information über die dreidimensionale Form, ob die Platine 62 normal oder abnormal ... |
