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发明名称 Herstellungsverfahren für integrierte ausgerichtete Tunnelspitzenpaare
摘要
申请公布号 DE69233641(T2) 申请公布日期 2007.08.09
申请号 DE1992633641T 申请日期 1992.05.12
申请人 CORNELL RESEARCH FOUNDATION INC. 发明人 ARNEY, SUSANNE CHRISTINE;MACDONALD, NOEL C.;YAO, JUN JASON
分类号 G01B7/34;H01J37/063;B81B1/00;B81B3/00;G01B7/00;G01N27/00;G01N37/00;G01Q20/04;G01Q60/16;G01Q70/12;G01Q70/14;H01J37/28;H02N1/00 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
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