Ultraschallwellen-Erzeugungsvorrichtung

摘要

Eine Ultraschallwellen-Erzeugungsvorrichtung (10, 30, 31, 32, 40) umfasst ein Substrat (11), eine Wärmeisolierungsschicht (12) auf dem Substrat (11), einen Membranerwärmungsabschnitt (13) auf der Wärmeisolierungsschicht (12) und einen Membranoszillator (14) auf dem Erwärmungsabschnitt (13). Der Erwärmungsabschnitt (13) wird elektrisch mit einer vorbestimmten Periode angetrieben und erzeugt Wärme zur thermischen Verlagerung einer Oberfläche des Oszillators (14). Der Oszillator (14) empfängt eine Temperaturveränderung in Übereinstimmung mit der vorbestimmten Periode von dem Erwärmungsabschnitt (13) und oszilliert, um so Ultraschallwellen zu erzeugen.