发明名称 Ferroelektrische Struktur aus Bleigermanat mit mehrschichtiger Elektrode
摘要
申请公布号 DE60035311(D1) 申请公布日期 2007.08.09
申请号 DE20006035311 申请日期 2000.05.24
申请人 SHARP K.K. 发明人 ZHANG, FENGYAN;LI, TINGKAI;HSU, SHENG TENG
分类号 C23C14/06;H01L21/316;C23C14/08;C23C16/40;H01L21/02;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L27/105;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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