相变化存储器的垂直侧壁有效引脚结构及其制造方法

摘要

本发明提供一种可编程电阻存储器，例如相变化存储器，其包含具有细长侧壁的有效引脚的存储元件。侧壁有效引脚包含可编程电阻材料，例如相变化材料。在本发明的一个目的中，描述形成存储单元的方法，其包含形成堆叠，此堆叠包含第一电极、绝缘层以及第二电极。此第一电极具有主表面，而此主表面具有周缘；此绝缘层覆盖第一电极的主表面的一部份；此第二电极与第一电极垂直分离以及覆盖绝缘层。位于绝缘层及第二电极的侧壁，设置于第一电极的主表面，并与第一电极的主表面有横向偏移。

主权项

1.一种存储元件，包含：具有主表面的第一电极，该主表面具有周缘；第二电极，与该第一电极垂直分离，并且具有侧壁，该第二电极的该侧壁的至少一部份位于该主表面上，而与该第一电极的该周缘有横向偏移；绝缘元件，配置于该第一及第二电极之间，该绝缘元件覆盖该第一电极的该主表面的至少一部份，该绝缘元件具有侧壁，该绝缘元件的该侧壁位于该主表面上，而与该第一电极的该周缘具有横向偏移；以及存储元件，包含可编程电阻材料，该存储元件具有的侧壁部分，沿着该绝缘元件的该侧壁延伸，并接触该第二电极的该侧壁，该存储元件的该侧壁部份具有底表面，该底表面与该第一电极的该主表面接触。