| 发明名称 | 内冷式高速薄膜研磨头 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种内冷式高速薄膜研磨头，其特点是研磨抛光转轴外面，安装一个与转轴间隙配合的给水套，并在给水套位置上沿转轴的表面径向到轴心，再沿轴向穿过薄膜夹持器和薄膜，打钻水道，将冷却液经给水套内的给水环，沿水道引至抛光薄膜中心，向工件表面四周喷射，均匀冷却工件的研磨抛光部位，并将工件表面的切屑和其它微粒冲刷干净，以避免它们划伤工件表面；由于内冷式结构有效降低了工件表面研磨抛光时产生的温升，可使研磨抛光速度增大到10000r/min以上，研磨抛光后工件表面的粗糙度达到Ra0.1－0.025mm；本实用新型的应用，进一步提高了研磨抛光的质量和效率，拓展了研磨抛光的应用范围，是软研磨技术的又一突破。 | ||
| 申请公布号 | CN2930972Y | 申请公布日期 | 2007.08.08 |
| 申请号 | CN200620044748.2 | 申请日期 | 2006.08.11 |
| 申请人 | 上海海事大学 | 发明人 | 董丽华;罗红霞;范春华;顾水球;刘少飞 |
| 分类号 | B24B29/00(2006.01);B24B41/04(2006.01) | 主分类号 | B24B29/00(2006.01) |
| 代理机构 | 上海开祺知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李征旦 |
| 主权项 | 1.一种包括水泵(1)、转轴(4)、与转轴(4)固定连接的薄膜夹持器(8)和抛光薄膜(9)的内冷式高速薄膜研磨头，其特征在于：a.安装在转轴(4)外面的给水泵(5)与转轴4间隙配合，b.给水套(5)内蓄水环(11)经给水套(5)内上下的密封圈(6)，与转轴(4)密封配合，c.由转轴(4)表面沿着径向到轴心，再沿着转轴(4)的轴向，穿过薄膜夹持器(8)和薄膜9，至薄膜9的外表面中心处，打钻水道(7)。 | ||
| 地址 | 200135上海市浦东新区浦东大道1550号 | ||