光学镀膜监控系统信号消噪方法

摘要

本发明涉及一种光学镀膜监控系统信号消噪方法，主要包括：在监控系统中的光源部分加装电源集成模块、光源灯斜置、光波调制采用步进电机以及信号处理电路中采用高增益低噪声的元器件，并采用前级放大器与后级放大器分离以及低阻抗输入方式。本发明的方法能够对光学镀膜监控系统中来自电源、光源、传导、电子枪强光以及信号处理电路等各方面的噪声干扰，进行有效的抑制或消除，并由此获得比较纯净而精确的膜厚信号。同时采用了窄带八阶滤波器，可使调制频率以外的无用信号得到极大的衰减，提高处理信号的分辨率，为镀膜厚度精确监控提供可靠的保证。

主权项

1、一种光学镀膜监控系统信号消噪方法，其特征在于：在膜厚信号处理系统中采用如下消噪方法：a)在膜厚信号处理电路中采取前级放大电路和后级信号处理电路分离的方法，具体为：采用大倍率I/V转换电路，将微弱的电流信号转换为电压信号，再通过可调整放大倍率的前置放大器将电压信号进一步放大；b)膜厚信号处理电路的滤波电路采用窄带滤波器，该滤波器采用八阶有源模拟滤波器；c)膜厚信号处理电路的电源采用直流电源模块。