发明名称 |
超细流体喷射设备 |
摘要 |
一种超细流体喷射设备,包括配置在超细直径喷嘴末端附近的一基片,向喷嘴提供溶液,并向喷嘴中的溶液施加可选波形电压,以便向基片表面喷射超细直径的流体液滴;其中喷嘴末端的附近的电场强度根据喷嘴直径的降低,充分大于喷嘴与基片之间作用的电场;且其中使用麦克斯韦尔应力及电湿作用,通过降低喷嘴直径等降低电导率,并改进通过电压控制的喷射速率的可控制性;且其中通过使用带电液滴适度的蒸发并通过电场对液滴的加速,指数地改进着陆精确性。 |
申请公布号 |
CN1330429C |
申请公布日期 |
2007.08.08 |
申请号 |
CN03804287.8 |
申请日期 |
2003.02.20 |
申请人 |
独立行政法人产业技术综合研究所 |
发明人 |
村田和广 |
分类号 |
B05B5/035(2006.01);B05B5/08(2006.01);B41J2/01(2006.01) |
主分类号 |
B05B5/035(2006.01) |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
郭思宇 |
主权项 |
1.一种超细流体喷射设备,其特征在于:设有供给液体的超细直径的喷嘴,该喷嘴为末端内径0.01~8μm的朝向喷嘴末端变得头细的针状细毛细管,在该喷嘴的至少内侧设置电极,配置基片,使得基片表面接近上述喷嘴的末端,设有向上述电极施加可选的波形电压的电压产生装置,使电场集中在上述喷嘴末端,使得产生从喷嘴末端朝向基片表面的规定位置的电力线,沿着该电力线朝向上述规定位置地从上述喷嘴喷射超细液滴,使该液滴飞溅、着陆,与喷嘴基片间距离(L)对应地调节上述可选的波形电压,控制喷嘴端面的流体弯月面形状,使喷嘴末端的集中电场成为大于等于喷射临界电场(Ec),用小于等于700V的施加电压从喷嘴末端喷射液滴使其飞溅,并使其着陆在上述基片表面的规定位置。 |
地址 |
日本东京 |