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发明名称 Polishing composition and polishing method
摘要
申请公布号 GB2434799(A) 申请公布日期 2007.08.08
申请号 GB20070002153 申请日期 2007.02.05
申请人 FUJIMI INCORPORATED 发明人 SHUHEI YAMADA
分类号 C09G1/02;B24B37/00;C09K3/14;H01L21/304 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
主权项
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