硅片生产中的载片器和载片器上的挂钩

摘要

一种硅片生产中使用的载片器，在载片器的两侧有导轨，在导轨上设置紧贴导轨的高出载片器的防断头部件。其中，可以实现方式可以为在导轨上设置竖起的卡子，防断头部件远离导轨处有凹进去的部分，所述防断头部件紧贴导轨时其凹处与卡子相吻合。并且，载片器上的挂钩的末端可以为以下之一的形状：线状、一点、锯齿状、波浪状。使用本发明，可增加载片器框架的强度和抗折度，由于防断头部件可拆卸，该部件磨损后仅更换该部件，避免全部更换载片器，降低成本。且载片器的挂钩与硅片接触面达到尽量小，使镀层更有利到达、沉积在硅片上，使镀膜均匀。

主权项

1.一种硅片生产中的载片器，在载片器的两侧有导轨，其特征在于，在导轨上设置紧贴导轨的高出载片器的防断头部件。