一种显示面板的制作方法

摘要

一种显示面板的制作方法，首先提供一基板，基板表面设有至少一薄膜晶体管，接着在基板上依序形成形成一保护层与一平坦层，并将平坦层图形化，以在平坦层内各薄膜晶体管的上方分别形成一开口，再利用平坦层为掩模来对下方的保护层进行一蚀刻工序，以在各开口下方的保护层内分别形成一通达至薄膜晶体管的第一接触孔，随后选择性移除位于各开口周围的部分平坦层，以扩大各开口，而在各第一接触孔上方形成一第二接触孔，接着再在该平坦层表面沉积一透明导电层，其中透明导电层分别经由各第一接触孔与各第二接触孔电连接至各薄膜晶体管。

主权项

1.一种显示面板的制作方法，至少包括：提供一基板，其上具有至少一晶体管；在该基板和晶体管之上形成一保护层；在该保护层之上形成一平坦层；图形化该平坦层，以形成一开口；以该平坦层为掩模，进行一蚀刻工序，以在该开口下方的该保护层内形成一可与该晶体管电连接的第一接触孔；以及至少移除部份位于该开口周围的该平坦层，以形成一第二接触孔，其中该第二接触孔的平均直径大于该第一接触孔的平均直径。