| 发明名称 | 氢氟烃的制造方法,其制品及其用途 | ||
| 摘要 | 使卤代甲烷混合物和氟化氢，在气相中在氟化催化剂的存在下在单一的反应带中反应，将生成的气体导入蒸馏塔中进行分离精制后，获得2种或2种以上的氢氟烃。根据本发明，可以有利于工业地制造在半导体器件的制造工艺中可以作为蚀刻气体或清洗气体而使用的，高纯度的氢氟烃类、特别是氟代甲烷、二氟甲烷。 | ||
| 申请公布号 | CN1330615C | 申请公布日期 | 2007.08.08 |
| 申请号 | CN200480001220.0 | 申请日期 | 2004.09.09 |
| 申请人 | 昭和电工株式会社 | 发明人 | 大野博基;新井龙晴 |
| 分类号 | C07C17/10(2006.01);C07C19/08(2006.01) | 主分类号 | C07C17/10(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 段承恩;田欣 |
| 主权项 | 1.一种氢氟烃的制造方法，其特征在于含有使由氯代甲烷和二氯甲烷组成的卤代甲烷混合物和氟化氢，在气相中在氟化催化剂的存在下在单一的反应带中反应，将生成的气体导入蒸馏塔中进行分离精制后，获得氟代甲烷和二氟甲烷的工序。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||