用于流量测量和确认质量流量控制器有效性的方法和系统

摘要

本发明揭示用于流量校验和确认质量流量控制器有效性的系统和方法。质量流量控制器可以被命令按特定的流量和流量测量结果开始。在某个时间间隔期间，气体在第一体积中累积而且在这个体积内获得测量结果。然后，在这个时间间隔期间获得的各种不同的测量结果可以用来计算流速。该流速本身又可以用来确定与设定点相关的质量流量控制器的准确性。

主权项

1.一种测量流经流量控制器的流量的方法，该方法包括：收集在第一时间间隔期间属于第一体积的第一数据；收集在第二时间间隔期间属于第二体积的第二数据；确定第一体积；以及计算流量。