多层结构部件及其制造方法

摘要

一种多层结构部件及其制造方法，在绝缘体的基板(2)上交错层压形成导体图形(3)与绝缘层(4)，并按预定的时间、或在通过由绝缘体基板(2)、导体图形(3)及绝缘层(4)构成的层压体(5)的形成工序时的探测器而检测到层压体(5)成为预定的翘曲情形时，将绝缘层(4)的构成材料变更为能矫正层压体(5)的翘曲的其他的绝缘材料、形成绝缘层(4)。据此，能够高精度地矫正层压体(5)的翘曲。

主权项

1.一种多层结构部件，包括绝缘体基板以及交替层压在所述绝缘体基板上以形成层压体的导体图形和绝缘层，其特征在于：至少1层绝缘层限定为含有石英玻璃与石英的矫正用的绝缘层，且矫正用的绝缘层中的石英玻璃与石英的比率设定为使矫正用的绝缘层的热伸缩率不同于不限定为矫正用的绝缘层的绝缘层之热伸缩率，从而所述矫正用的绝缘层对因不限定为矫正用的绝缘层的绝缘层、导体图形及绝缘体基板的之间的热伸缩率的差异产生的所述层压体的翘曲进行矫正，包括矫正用的绝缘层在内的每一绝缘层都由含有石英玻璃与石英的混合材料构成，并且，矫正用绝缘层和其他绝缘层的石英玻璃与石英的组成比不同。