用于平板显示器的化学气相沉积设备

摘要

一种用于平板显示器的化学气相沉积设备，其包含：基座，其安装在腔室中且具有上表面，在所述上表面上加载经受沉积的平板显示器；以及冷却部分，其掩埋在所述基座的至少一部分中并强行冷却在沉积工艺期间被加热的基座。由于强行冷却基座以在相对较短时间内将基座温度降低到恰当水平，因而可减少设备维护和修理时间的等待时间。因此，改进了设备的操作速率和其生产率，且防止工艺损失的产生。

主权项

1、一种化学气相沉积设备，用于平板显示器，所述化学气相沉积设备包括：基座，安装在腔室中且具有上表面，在所述上表面上加载经受沉积的所述平板显示器；以及冷却部分，掩埋在所述基座的至少一部分中并强行冷却在沉积工艺期间被加热的所述基座。