发明名称 FLUORINATED SURFACTANTS FOR AQUEOUS ACID ETCH SOLUTIONS
摘要
申请公布号 EP1558698(B1) 申请公布日期 2007.08.08
申请号 EP20030770349 申请日期 2003.09.17
申请人 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY 发明人 PARENT, MICHAEL J.;SAVU, PATRICIA M.;FLYNN, RICHARD M.;ZHANG, ZHONGXING;LAMANNA, WILLIAM M.;QIU, ZAI-MING;MOORE, GEORGE, G., I.
分类号 C09K13/04;C09K13/08;H01L21/311 主分类号 C09K13/04
代理机构 代理人
主权项
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