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发明名称
FLUORINATED SURFACTANTS FOR AQUEOUS ACID ETCH SOLUTIONS
摘要
申请公布号
EP1558698(B1)
申请公布日期
2007.08.08
申请号
EP20030770349
申请日期
2003.09.17
申请人
3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY
发明人
PARENT, MICHAEL J.;SAVU, PATRICIA M.;FLYNN, RICHARD M.;ZHANG, ZHONGXING;LAMANNA, WILLIAM M.;QIU, ZAI-MING;MOORE, GEORGE, G., I.
分类号
C09K13/04;C09K13/08;H01L21/311
主分类号
C09K13/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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