用于形成多组分介电膜的系统和方法

摘要

本发明提供了用于混合前体的系统和方法，使得在原子层沉积(ALD)过程中的单一脉冲步骤期间，前体混合物共同存在于腔室中以便形成多组分膜。所述前体包括至少一种不同的化学组分，并且这些不同的组分将形成单层以产生多组分膜。在本发明的另一个方面中，提供了具有组成梯度的介电膜。

主权项

1.一种在衬底表面上形成多组分膜的方法，其包括步骤：向一个或多个蒸发室中注入所需量的两种或多种前体，每种前体包含至少一种金属或准金属组分；将所述两种或多种前体蒸发到蒸发室中；将所述两种或多种前体输送到处理腔室中，其中所述前体共同存在于处理腔室中，并且配置所述处理腔室以容纳多个衬底；在衬底表面上形成单层，所述单层包含所述金属或准金属组分中的每一种；和清洗所述处理腔室。