利用经碱土金属交换的沸石精制三氟化氮气体的方法

摘要

本发明公开了一种用于精制三氟化氮气体的方法和用在其中的吸附剂。将包含四氟化碳(CF4)杂质的三氟化氮(NF3)渗入如下沸石3A、4A或5A床中以将三氟化氮选择性地吸附到所述床上，接着将三氟化氮从床上脱附，其中所述沸石与碱土金属离子交换过并且在150－600℃下热处理过0.5－100小时。

主权项

1.一种用于精制三氟化氮气体的方法，所述方法包括：将三氟化氮(NF3)和四氟化碳(CF4)的气体混合物引入沸石3A、4A或5A床上，以将三氟化氮选择性吸附到所述床上，而所述四氟化碳穿过所述床，所述沸石3A、4A或5A与碱土金属离子交换过；并且从所述床回收所述三氟化氮。