| 发明名称 | 微开关器件及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种微开关器件及其制造方法。所述微开关器件包括：基部；固定部，与所述基部接合；可移动部，沿所述基部延伸，并具有固定至所述固定部的固定端；可移动接触电极膜，设置在所述可移动部的与所述基部相反的一侧；一对固定接触电极，与所述固定部接合，并具有与所述可移动接触电极膜相对的区域；可移动驱动电极膜，设置在所述可移动部的与所述基部相反的一侧；以及固定驱动电极，具有与所述可移动驱动电极膜相对的区域。所述可移动驱动电极膜比所述可移动接触电极膜薄。所述固定驱动电极与所述固定部接合，且所述固定部与所述基部接合。 | ||
| 申请公布号 | CN101013640A | 申请公布日期 | 2007.08.08 |
| 申请号 | CN200710007380.1 | 申请日期 | 2007.01.31 |
| 申请人 | 富士通株式会社 | 发明人 | 阮俊英;中谷忠司;上田知史 |
| 分类号 | H01H59/00(2006.01);H01H49/00(2006.01);H01L29/00(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H01H59/00(2006.01) |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张龙哺 |
| 主权项 | 1.一种微开关器件，包括：基部；固定部，与所述基部接合；可移动部，沿所述基部延伸，并具有固定至所述固定部的固定端；可移动接触电极膜，设置在所述可移动部的与所述基部相反的一侧上；一对固定接触电极，每个固定接触电极与所述固定部接合，并具有与所述可移动接触电极膜相对的区域；可移动驱动电极膜，设置在所述可移动部的与所述基部相反的一侧上，其中所述可移动驱动电极膜比所述可移动接触电极膜薄；以及固定驱动电极，具有与所述可移动驱动电极膜相对的区域，所述固定驱动电极与所述固定部接合。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县川崎市 | ||